日本Fujikura藤仓精密减压阀RS-8-2-KARS-4-2-KA
压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现无尘室对应的精密的压力调整的超精密减压阀。
-
无尘规格
-
因为部品是不锈钢及氟橡胶，其他的部品全部为非电解镀镍处理，产生的杂质非常少。
-
歧管安装对应
-
歧管连接配管可能。
-
排气口装备
-
因为排气孔，溢流孔，可以连接排气用配管；排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。
-
高精度
-
可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高精度控制。
规格
| RS-4 | RS-8 | |
| 使用流体 | 清洁压缩空气 | |
| 压力设定范围 （MPa） | 0.014～0.42 | 0.014～0.84 |
| 进口压力设定范围 （MPa） | 1. Max. | |
| 排气的有无 | 有 | |
| 反复再现性 （％.F.S） | ±0.1以内 | |
| 感度 （％.F.S） | 0.1以内 | |
| 空气消费量 （Nl/min） | 3.7以内 | |
| 使用温度范围 （℃） | 5～60 | |
| 配管连接口径 | Rc 1/4、歧管型 | |
| 压力表连接口径 （Rc（PT）） | 1/4 | |
| 支架 | 标准配置（歧管型以外） | |
| 质量 （kg） | 0.41 | |